ABOUT US
苏州光熠装备有限公司成立于2024年,坐落于昆山市,是专注于高端真空镀膜设备研发、生产、销售及工艺配套的科技型企业,致力于成为真空镀膜、泛半导体技术服务、非标定制领域的优秀供应商,推动中国高端真空镀膜设备技术自主化。
ADVANTAGES
✅ 资深团队:汇聚机械、电控、自动化、钙钛矿工艺、真空等领域顶尖专家,资深技术专家拥有 20 年以上蒸镀机设计及产业化经验,核心团队平均行业经验超 10 年。
✅ 全链能力:具备研发、中试及量产设备全流程设计制造能力,提供从产品设计、生产制造到售后服务、工艺配套的一站式产业化解决方案。
✅ 丰富出货经验:团队近 5 年累计完成 400+ 台套镀膜设备出货,服务客户覆盖光伏、面板、泛半导体企业及各大高校、科研院所。
✅ 定制化服务:可提供桌面 - 单腔 - 多腔 - 团簇 - Inline 等各形式设备,支持设备改造与技术创新,精准匹配客户个性化需求。
PRODUCTS
桌面型单腔、6 组蒸发源,最大 6 英寸基板,适合实验室与中试桌面部署。
蒸镀机与手套箱集成一体化,占地面积仅 1 平方米,适用于 OLED、QLED、钙钛矿及探测器等领域。
单腔结构、8 组蒸发源,膜厚监测与全自动流程,节拍与材料范围见详情规格表。
蒸镀腔与 LL 腔架构,支持不破真空更换基片或掩膜版,兼顾高节拍实验与一键自动化。
双腔+真空传输杆,6 组蒸发源与防腐蚀分子泵方案,适配叠层钙钛矿干法蒸镀工艺。
双腔结构、高通量节拍,4 源共蒸与全自动流程,膜厚指标可量化。
八角传输腔与多工艺腔模块化组合,真空机械手传片,可集成蒸镀、磁控、ALD、PECVD 等。
Inline 多腔连线、磁力轮传输,适配大尺寸基板与高通量节拍,线源/点源可配置。
LITERATURE
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