| 序号 | 项目 | 详细 |
|---|---|---|
| 1 | 设备型号 | GY400-S4/GY600-S8 |
| 2 | 设备结构 | 单腔蒸镀机 |
| 3 | 样品架 | 可升降、旋转样品台，最大承载 1 片 300mm×300mm 基板 |
| 4 | 蒸发源配置 | 4-8组蒸发源 |
| 5 | 真空泵组 | 采用「机械泵+分子泵」组合 |
| 6 | 膜厚仪 | 石英晶振膜厚监控仪 1 台；模式：共蒸或者顺序镀膜；探头：2-4 通道；显示以及控制精度：0.01 Å/秒；频率分辨率：0.01 Hz |
| 7 | 自动化功能 | 一键实现全自动抽真空、充气、基片旋转、开闸板阀、真空机械手取放片、升降温、蒸镀、挡板开合 |
| 8 | 膜厚特性 | 不均匀性 ≤ 3%，膜厚再现性 ≤ 5%，速率稳定性 ≤ 3% |
| 9 | 节拍 | 45 min/载板 |
| 10 | 可蒸镀材料 | C60/BCP/LiF/MgF₂/PbI₂/PbCl₂/CsBr/Ag/Cu/Al/Au |
| 11 | 腔体漏率 | 整体漏率优于 1×10−10 Pa·m3/s；保压 12 小时，压强小于 10 Pa |
| 12 | 极限真空 | 优于 2.5×10⁻⁵ Pa |
| 13 | 工作真空度 | 手套箱环境下抽至 4.0×10⁻⁴ Pa ≤ 20 min；大气环境下抽至 4.0×10⁻⁴ Pa ≤ 30 min |