装备产品

序号	项目	详细
1	应用领域	OLED / QLED / 钙钛矿 / 探测器等
2	基板尺寸	常规尺寸 110 mm × 110 mm，并向下兼容；支持定制
3	蒸发系统	坩埚容量 1–5 cc，配置 4–6 个蒸发源
4	常规材料	C60 / BCP / Ag / Cu / LiF 等
5	设备特点	蒸镀机与手套箱集成一体化，占地面积仅 1 平方米
6	片内均匀性	97%
7	片间重复性	95%
8	速率稳定性	±3%
9	一键自动化	支持

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